Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Установка алмазно-проволочной резки полупроводниковых слитков

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Установка алмазно-проволочной резки полупроводниковых слитков Схема процесса
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

PWS200 / PWS300 — установка высокоточной гладко-проволочной резки слитков на пластины с применением алмазной проволоки для получения полупроводниковых пластин с высокими требованиями к форме и поверхности. Отличается высокой степенью стабильности и воспроизводимости процесса, а также простотой управления и обслуживания.

Особенности

  • Станина установки, опора коробки вала и подающий механизм — в виде интегрированных литых конструкций
  • Подшипники производства NSK
  • Двигатели шпинделя и подачи проволоки — Siemens
  • Фиксатор с поворотным механизмом — обеспечивает колебательную резку, равномерно распределяя силу реза
  • Благодаря системе управления Siemens и оригинальным двигателям достигается минимальный риск обрыва проволоки
  • Охлаждение вала с помощью независимого водяного бака, что позволяет контролировать высокий расход охладителя и решает проблему конденсации внутри коробки вала
  • Паз типа «ласточкин хвост» обеспечивает точность резки слитка в заданной кристаллической ориентации

Параметр / Модель

PWS200

PWS300

Диаметр слитка

До 8 дюймов

До 12 дюймов

Макс. длина обработки

≤450 мм

≤450 мм

Скорость подачи проволоки

3000 мм/мин

3000 мм/мин

Количество направляющих роликов

3

3

Диаметр проволоки

0,05-0,25 мм


0,05-0,25 мм


Макс. угол поворота слитка

6″: ±12° / 8″: ±8°

±8°

Габариты оборудования

4750 × 1950 × 3000 мм

4460 × 2360 × 3390 мм

Масса оборудования

~15 тонн

~15,6 тонн

Мощность

160 кВт

188 кВт


  • TTV (Total Thickness Variation): среднее значение: ≤10 мкм
  • WARP (максимальное отклонение поверхности пластины от эталонной): среднее значение: ≤12 мкм
  • BOW (сферический изгиб пластины): среднее значение ≤±8 мкм
  • Потребляемая мощность: 160 кВт
  • Ёмкость накопительного барабана: 50 км
  • Натяжение проволоки: 0~30 Н
  • Ход движения подающего механизма: 400 мм

Результаты испытаний

Параметр

Ед. изм.

Кол-во изм.

Макс.

Мин.

Среднее

Размах

Макс. отклонение

Ст. отклонение

CV (%)

CTRTHK

мкм

60

752,54

741,25

746,69

11,29

5,842

1,589

0,213

BOW3P

мкм

60

7,16

-0,75

2,34

7,91

4,817

2,082

88,868

WARP3P

мкм

60

15,92

6,79

9,70

9,13

6,226

1,635

16,861

TTV

мкм

60

9,07

2,43

4,66

6,64

4,405

1,852

39,715



4Лист запросов
В лист запросов →
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить