Установки низкотемпературной плазмохимической обработки поверхности пластин Ash-3

Ash-3 – установка плазмохимической низкотемпературной обработки поверхности пластин. В основном применяется для обработки поверхности и удаления остатков полимера и других загрязнений в сформированных структурах (Descum) для пластин Ø 8’’ и 12’’.

Особенности

• Подходит для крупносерийного производства
• Применение источника удаленной индуктивно-связанной плазмы и специальная конфигурация газораспределительной системы позволяет проводить процессы с высокой однородностью (< 5 %) при отсутствии зарядового эффекта на поверхности пластин
• Программное обеспечение собственной разработки, простое в изучении и управлении