SGP360 — система для высокоточных односторонних шлифовки и полировки карбида кремния, сапфира, кремния, германия, ниобата лития, стекла, керамики, молибдена и других твердых и хрупких полупроводниковых материалов.
Особенности
Возможность оснащения дополнительными информационными модулями и инструментами автоматизации
Поддержка шлифовки/полировки при больших и сверхмалых давлениях
Номер модели
SGP360-K
SGP360-E
Размеры диска
Для полировки (мм)
ø914
ø974
Медная подошва (мм)
ø875
/
Стол головы-держателя
Диаметр (мм)
ø360
Характерные размеры обработки
Максимальный размер обработки
ø300 мм
Параметры точности
Плоскостность стола головы-держателя
≤0,015 мм
Биение нижнего диска
≤0,02 мм
Габариты (Ш х Г х В)
Около 1912×1280×2500 мм (без поворотного устройства)