Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Печать/PDFСистема EVG®810LT представляет собой однокамерный автономный блок с ручным управлением. Технологическая камера позволяет проводить процессы за ее пределами (пластины активируются одна за одной и свариваются вне камеры плазменной активации). Система EVG®810LT — это универсальная система, которую можно применять как в опытно-конструкторских и исследовательских целях, так и в массовом производстве с возможностью интеграции в автоматические системы (EVG®850LT и GEMINI®).
Уникальные особенности
- Активация поверхности плазмой для низкотемпературной сварки пластин (молекулярное смешивание и сварка промежуточных слоев)
- Быстрые передвижения любого механизма в процессе сварки пластин
- Отсутствие процессов с использованием жидкостей
- Высокая прочность сварки при низкотемпературном отжиге (до 400 °С)
- Применение для производства изделий по технологиям «Кремний на изоляторе», «Германий на изоляторе» МЭМС, многоуровневых полупроводниковых структур и передовых процессов сварки
- Обеспечение наилучшей совместимости различных материалов, включая КМОП-структуры, благодаря использованию различных технологических сред (инертных газов, окислительных или восстановительных газовых смесей) при их низком расходе
|
Рабочая камера для плазменной обработки пластин диаметром до 200 мм |
|
Рабочая камера для плазменной обработки пластин диаметром до 300 мм |
|
Технические характеристики |
EVG®810LT |
EVG®810LT |
|
Размеры пластины / подложки, мм |
50 — 200 / 50×50 — 140×140 |
100 — 300 / 100×100 — 210×210 |
|
Загрузки и выгрузка пластин / подложек вручную |
||
|
Автоматическое открытие / закрытие рабочей камеры |
||
|
Использование до четырех рабочих сред |
||
|
Стандартные рабочие среды: N2 и О2 |
||
|
Дополнительные рабочие среды: инертные газы высокой частоты (Ar, He, Ne и др.), смеси газов (≥ 95 % N2, Ar, He с ≤ 5 % H2) |
||
|
Универсальный расходомер газового потока с самокалибровкой для четырех типов рабочих газов и программированием при максимальной скорости потока 20 000 см3/мин |
||
|
Вакуумная система |
||
|
Давление 9×10-2 мБар |
||
|
Примеры материалов для сварки |
||
|
|
||
|
|
||
|
|
||
|
|
||
|
|
||
|
|
||
|
|
||
|
|
||
|
Опции |
||
|
Турбомолекулярный насос с давление 9×10-3 мБар |
||
|
Зажимные патроны для различных размеров пластин |
||
|
Активация безионных металлов |
||
|
Мини окружающая среда 1 класса по US FED STD 209E |
||
|
Возможность интеграции в ФАБ-центры |
||