Проекционная

Nikon NSR-S206D — литографический сканер (stepper), использующий излучение KrF-эксимерного лазера с длиной волны 248 нм. Установка проецирует изображение с фотошаблона на кремниевую пластину с 4-кратным уменьшением, обеспечивая формирование структур с критическим размером (разрешением) до 110 нм. Предназначена для массового производства полупроводниковых приборов.

Nikon NSR-S220D — DUV-сканер, использующий KrF эксимерный лазер с длиной волны 248 нм. Установка проецирует изображение с фотошаблона на кремниевые пластины диаметром 300 мм, формируя структуры с разрешением до 110 нм. Оптимизирована для высокопроизводительного производства полупроводниковых приборов, где критически важны точность совмещения (оверлей) и стабильность процесса.

Nikon NSR-SF120 — это i-line (365 нм) степпер для проекционной фотолитографии на кремниевых пластинах диаметром до 300 мм. Работает по принципу «step-and-repeat»: последовательно экспонирует один и тот же фотошаблон на разные участки пластины, создавая на ней множество идентичных полупроводниковых структур.

Nikon NSR-SF155 — степпер для фотолитографии, использующий i-line излучение с длиной волны 365 нанометров для формирования схем на полупроводниковых пластинах. Предназначен для работы с некритичными слоями (например, слоями металлизации, изоляции) в массовом производстве современных запоминающих устройств и микропроцессоров. Принцип работы заключается в пошаговом (step-and-repeat) точном проекционном копировании изображения с фотошаблона на кремниевую пластину с коэффициентом x4. Обеспечивает высокую пропускную способность и точность наложения слоев, что делает степпер ключевым инструментом для экономически эффективного производства.