Проекционная

Система проекционной литографии Nikon NSR-SF155 — i-line Stepper, предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением и скоростью.

Система проекционной литографии ASML PAS 5500/100D — i-line Stepper, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и разрешением.

Система проекционной литографии ASML PAS 5500/350C — DUV Stepper, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и разрешением.

Система проекционной литографии ASML PAS 5500/850C — KrF laser Sсanner, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и разрешением для серийного производства логических элементов элементов памяти.

Система проекционной литографии ASML PAS 5500/1150C — ArF laser Sсanner, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и разрешением для серийного производства логических элементов элементов памяти.

Система проекционной литографии ASML Twinscan NXE:3400B — EUV Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и непревзойдённым разрешением.

Система проекционной литографии ASML Twinscan NXT:2000i — ArF Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и непревзойдённым разрешением для производства устройств логики и DRAM.

Система проекционной литографии Canon FPA-3030eX6 — KrF excimer laser Stepper, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и разрешением для производства устройств IoT и силовых приборов.

Система проекционной литографии Canon FPA-5550iZ2 — i-line Stepper, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и разрешением для производства логических элементов и датчиков изображения.

Система проекционной литографии Canon FPA-5510iX — i-line Stepper, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью для серийного производства МЭМС и датчиков изображения.

Система проекционной литографии Canon FPA-6300ES6a — KrF excimer laser Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высокой скоростью и разрешением.