MSD100 / MSD150 — компактная установка проявления фоторезиста для лабораторных и образовательных применений. Обладает разными типами сопел нанесения реагентов-проявителей, позволяя подобрать подходящую методику для лучшего удовлетворения требованиям процесса.
Особенности
Автоматическое проявление фоторезиста по рецепту
Ручная загрузка пластин
Автоматическое дозирование химии из двух линий подачи
Работа с подложками до Ø100 или Ø150 мм
Конфигурируемые сопла для распыления реагентов (секторальное или коническое) или налива лужи