Полуавтоматическая установка проявления фоторезиста SASD812

SASD812 — установка проявления фоторезиста для обработки по одной пластине в условиях мелкосерийного производства и НИОКР. Поддерживает работу с подложками до Ø200 мм и может быть сконфигурирована для процессов проявления распылением, наливом лужи, а также под высоким давлением методом взрывной литографии (lift-off). Позволяет проводить отмывку пластин в деионизованной воде как с лицевой, так и с обратной стороны при помощи соответствующих сопел. Установка обеспечивает автоматический процесс проявления фоторезиста и отмывки по рецепту.

Особенности

• Автоматическое проявление фоторезиста по рецепту
• Ручная загрузка пластин
• Автоматическое дозирование проявителей и прочих реагентов
• Функция отмывки обратной стороны пластины
• Работа с подложками диаметром до 200 мм
• Высокоточный сервомотор со скоростью вращения до 6000 об/мин и высоким ускорением
• Механическое устройство центрирования подложек
• Фильтровентиляционный модуль и вытяжка