Тип трубки
Закрытый
Сила тока
200 мкА
Ускоряющее напряжение
110 кВ (настраиваемое)
Размер фокусного пятна
2 мкм
Характеристики фотодетектора
Эффективная зона детектирования
116,4 x 145,7 мм
Частота кадров
37 кдр/сек
Разрешение матрицы
2352 x 2944 пикселей
Система перемещения образца
Площадь рабочей зоны / макс. масса образца
310 x 110 мм
Размер области инспекции
270 x 100 мм
Монитор
24-дюймовый ЖК-дисплей высокой четкости
Размеры и масса
Габаритные размеры (Ш x Г x В)
2200 x 1250 x 1960 мм
Масса
2700 кг