|
Система приводов
|
X/Y: линейный двигатель; Z: сервопривод и шнек
|
|
Повторяемость (3 сигма)
|
X/Y: ±0,003 мм; Z: ±0,005 мм
|
|
Точность позиционирования (3 сигма)
|
X/Y: ±0,010 мм; Z: ±0,015 мм
|
|
Макс. скорость перемещения
|
X/Y: 1000 мм/с; Z: 500 мм/с
|
|
Макс. ускорение
|
X/Y: 1 g; Z: 0,5 g
|
|
Разрешение линейки
|
1 мкм
|
|
Рабочий ход по осям (X/Y)
|
350×470 мм
|
|
Метод калибровки высоты по оси Z
|
Лазерный датчик
|
|
Точность лазерного датчика
|
2 мкм
|
|
Точность подачи клея
|
±3 % / 1 мг
|
|
Повторяемость позиционирования одной точки
|
±25 мкм
|
|
Минимальный диаметр сопла
|
30 мкм
|
|
Минимальный вес одной точки клея
|
0,001 мг/точка
|
|
Максимальная вязкость жидкости
|
200 000 сПз
|
|
Максимальная частота бесконтактного нанесения
|
1000 Гц
|
|
Диапазон нагрева дозатора/сопла
|
От комн. темп. до 200 °C
|
|
Отклонение температуры нагрева дозатора/сопла
|
±2 °C
|
|
Применимые типы упаковки клея
|
5CC / 10CC / 30CC / 50CC / 70CC
|
|
Диапазон охлаждения шприца
|
Охлаждение до 15 °C ниже темп. окр. среды
|
|
Диапазон охлаждения пьезопривода
|
Охлаждение до темп. источника сжатого воздуха
|
|
Количество треков
|
2
|
|
Количество секций ленты
|
1 цельная
|
|
Максимальная скорость транспортировки по треку
|
300 мм/с
|
|
Максимальный вес транспортируемой подложки
|
3 кг
|
|
Диапазон регулировки ширины трека
|
60 — 162 мм (регулируемый)
|
|
Способ регулировки ширины трека
|
Ручной
|
|
Высота транспортировки
|
910 — 960 мм (регулируемая)
|
|
Максимальная толщина подложки/носителя
|
6 мм
|
|
Диапазон длины подложки/носителя
|
60 — 325 мм
|
|
Диапазон давления вакуума
|
От −50 до −80 кПа (регулируемый)
|
|
Диапазон температуры нижнего нагрева
|
От комн. темп. до 180 °C
|
|
Габаритные размеры (Д x Ш x В)
|
2380×1550×2080 мм (с учетом загрузки/выгрузки и дисплея) / 2380×1200×2080 мм (с учетом загрузки/выгрузки, без дисплея)
|
|
Вес
|
1600 кг
|
|
Электропитание
|
200 — 240 В, 50 Гц (однофазное)
|
|
Сила тока
|
30 А
|
|
Мощность
|
6,4 кВт
|
|
Подвод воздуха
|
(0,5 МПа, 450 л/мин) x 2
|