Цифровой сканирующий акустический микроскоп высокого разрешения D9500

Цифрой акустический сканирующий микроскоп высокого разрешения D9500 предназначен для осуществления операции неразрушающего контроля и объемной визуальной инспекции изделий микроэлектроники. Благодаря использованию ультразвука становится возможным инспекция однородных материалов, корпусов с высокой толщиной стенок.

• Рабочая область: 333×312 мм
• Повторяемость по каждой из координатных осей: ±0,5 мкм
• Широкозонный генератор 500МГц
• Возможность использования УЗ-преобразователей с номинальными частотами от 5 до 300 МГц
• Акустическая ширина сканирования: 95Дб, шаг: 0,5Дб
• Габариты: 1440 х 2110 х 1390
• Вес: 363 кг

Принцип работы:

Сканирующий акустический микроскоп работает по методу отражения импульса. Специальный акустический объектив генерирует, излучает и принимает короткие звуковые импульсы с высокой частотой. Акустическая линза преобразует высокочастотные электромагнитные колебания. Искривление фокусирует звуковое поле на образце через соединяющую среду (воду). Акустическая линза принимает звуковые импульсы, отраженные от образца. Трансдьюсер преобразует звуковые импульсы в электромагнитные импульсы, которые изображаются как точки с определенной плотностью серого. Для получения изображения акустический объектив сканирует образец линия за линией. Для излучения и приема сигнала может использоваться один и тот же трансдьюсер с хорошими фокусирующими свойствами. Изображение формируется путем механического перемещения трансдьюсера по образцу.

Технологический процесс:

1. Оператор загружает образец в рабочую область заполненную водой
2. Далее по команде оператора запускается программа сканирования образцов.
3. В результате на экран монитор выводится полученное акустическое изображение тестируемого изделия.
4. По окончании процесса оператор извлекает протестированный образец и загружает новые изделия.