Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Полупроводниковое производство Сборочное производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Система плазменного удаление фоторезиста Euro-200

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Система плазменного удаление фоторезиста Euro-200 Рабочая камера Образец 1 Образец 2 Образец 3 Образец 4
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

Система плазменного удаления фоторезиста Euro-200 предназначена для выполнения сухого удаления или доснятия фоторезиста, полиимида на пластинах диаметром до 200 мм.

Применение

  • Удаление или доснятие фоторезиста
  • Удаление или доснятие полиимида

Размер образцов

одна пластина размером до 200 мм

Мощность источника плазмы

600 Вт при 13,56 МГц с системой автосогласования

Крепление

Механический зажимной патрон

Загрузочная камера

автономного типа (опция: робот)

Предельный вакуум

≤ 5×10-2 Торр

Рабочие газы

CF4, O2

Вакуумный насос

роторный (опция: безмасляный насос)

Управление процессом

ПЛК



+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить