Система плазменного удаление фоторезиста Euro-200

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система плазменного удаление фоторезиста Euro-200

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система плазменного удаления фоторезиста Euro-200 предназначена для выполнения сухого удаления или доснятия фоторезиста, полиимида на пластинах диаметром до 200 мм.

Применение

Удаление или доснятие фоторезиста
Удаление или доснятие полиимида

Размер образцов	одна пластина размером до 200 мм
Мощность источника плазмы	600 Вт при 13,56 МГц с системой автосогласования
Крепление	Механический зажимной патрон
Загрузочная камера	автономного типа (опция: робот)
Предельный вакуум	≤ 5×10^-2 Торр
Рабочие газы	CF4, O₂
Вакуумный насос	роторный (опция: безмасляный насос)
Управление процессом	ПЛК

Система плазменного удаление фоторезиста Euro-200

Применение

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование