GPD18 – система двухсторонней шлифовки и полировки пластин и изделий из керамики, различных видов стекла, кварца, сапфира, кремния, карбида кремния и прочих полупроводников, а также множества других твёрдых и хрупких материалов.
Особенности
Точное регулирование давления с помощью ПЛК, пневматического преобразователя (PT), пропорционального клапана и цилиндра с низким коэффициентом трения
Демпфирующее устройство для поглощения шоковых нагрузок и вибраций
Гидростатический подшипник нижнего диска
Устройство фиксации верхнего диска в верхнем положении
Низкая нагрузка на сепараторы
Три или четыре синхронных мотора и возможность программируемого задания скоростей вращения (в т. ч. в виде функций) как коронной и солнечной шестерён, так и верхнего и нижнего дисков
Водяное охлаждение обоих дисков
Поддержка обработки крупных и ультратонких пластин и заготовок
Поддержка шлифовки/полировки при больших и сверхмалых давлениях
Номер модели
GPD18-L3/6
GPD18-L3/9
Размеры верхнего и нижнего дисков
(*с водяным охлаждением)
Для шлифовки (мм)
Верх.: ø1260×ø400×90*
ø1260×ø696×90
Ниж.: ø1260×ø400×80*
Для полировки (мм)
Верх.: ø1260×ø400×90*
ø1260×ø696×90
Ниж.: ø1260×ø400×80*
Параметры сепараторов
Шаг зубьев
Pitch15.7
Pitch12.8
Количество зубьев
94
78
Количество сепараторов
5
9
Характерные размеры обработки
Максимальный размер обработки
ø390 мм
Ø240 мм
Минимальная толщина обработки
0,2 мм
Параметры точности
Плоскостность верхнего и нижнего кругов
≤0,02 мм
Биение нижнего диска
≤0,03 мм
Габариты (Ш х Г х В)
Около 2350×1830×2880 мм
Масса
9500 кг
9000 кг
Номер модели
GPD18-D4/7
GPD18-D4/5
Размеры верхнего и нижнего дисков
(*с водяным охлаждением)