GPD9 — система для высокоточной двухсторонней шлифовки и полировки пластин и изделий из кварца, кремния и прочих полупроводников, оптических стёкол, керамики и других твёрдых и хрупких материалов.
Особенности
Точное регулирование давления с помощью ПЛК и пневматического преобразователя (PT)
Демпфирующее устройство для демпфирования как статических, так и динамических нагрузок
Гидростатический подшипник нижнего диска
Низкая нагрузка на сепараторы
Три синхронных мотора и возможность программируемого задания скоростей вращения (в т. ч. в виде функций) как коронной и солнечной шестерён, так и верхнего и нижнего дисков
Поддержка обработки крупных и ультратонких пластин и заготовок
Поддержка шлифовки/полировки при больших и сверхмалых давлениях