SGP520 — система для высокоточных односторонних шлифовки и полировки карбида кремния, сапфира, кремния, германия, ниобата лития, стекла, керамики, молибдена и других твердых и хрупких полупроводниковых материалов.
Особенности
Возможность оснащения дополнительными информационными модулями и инструментами автоматизации
Поддержка шлифовки/полировки при больших и сверхмалых давлениях
Номер модели
SGP520-K
SGP520-E
Размеры диска
Для полировки (мм)
ø1370
ø1430
Медная подошва (мм)
ø1330
/
Стол головы-держателя
Диаметр (мм)
ø520
Характерные размеры обработки
Максимальный размер обработки
ø490 мм
Параметры точности
Плоскостность стола головы-держателя
≤0,02 мм
Биение нижнего диска
≤0,03 мм
Габариты (Ш х Г х В) (*с водяным охлаждением)
Около 2610×1850×2940 мм(*) (без поворотного устройства)