Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Автоматическая установка утонения обратной стороны пластин BT-200A / BT-300A

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Автоматическая установка утонения обратной стороны пластин BT-200A / BT-300A Устройство контроля толщины Держатель пластины Групповая обработка пластин Групповая обработка подложек Результат утонения 01 Результат утонения 02 Результат утонения 01
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

BT-200A / BT-300A — полностью автоматическая установка для прецизионного утонения обратной стороны пластин из различных материалов (Si, SiC, GaAs, GaN, сапфир, ...). Процесс утонения — автоматический, с загрузкой и выгрузкой пластины в кассетах. Установка предназначена для серийного производства.

Особенности

  • Полностью автоматическая система с кассетной загрузкой и выгрузкой пластин
  • Работа с пластинами до 200 мм (BT-200A) или до 300 мм (BT-300A)
  • Возможность установки двух шпинделей для быстрой и прецизионной шлифовки
  • Встроенная автоматическая система измерения толщины пластины
  • Встроенная система правки шлифовального диска
  • Встроенный модуль отмывки и сушки пластин
  • Минимальные повреждения поверхности и внутренние напряжения пластины после утонения
  • Высокий выход годных и высокая производительность

BT-200A BT-300A
Максимальный размер пластин Ø200 мм Ø300 мм
Размер шлифовальной головы Ø203 мм Ø303 мм
Мощность шпинделя шлифовальной головы 6 кВт 9,5 кВт
Мощность шпинделя стола 0,75 кВт 1,5 кВт
Скорость вращения шпинделя 0-6000 об/мин
 		0-4000 об/мин
Скорость вращения стола с пластиной 0-260 об/мин
 		0-380 об/мин
Скорость подачи головы по оси Z 0,1-30000 мкм/с
 		0,1-30000 мкм/с
Точность измерения толщины ±1 мкм ±1 мкм
TTV пластин (Si) 2 мкм (200 мм) 3 мкм (300 мм)
Габариты 2500×1650×1980 мм 3000×1800×2170 мм
Масса 3900 кг 4500 кг


1Лист запросов
В лист запросов →
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить