Полуавтоматическая установка утонения пластин SGM12 / SGA12

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Полуавтоматическая установка утонения пластин SGM12 / SGA12

Утонённые пластины сапфира Ø150 и Ø76 мм

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

SGM12 / SGA12 — серия установок утонения пластин из карбида кремния, сапфира, кремния, германия, арсенида галлия, кварцевого стекла, различных керамик и других твердых и хрупких полупроводниковых материалов для малосерийных производств и исследований в областях микросхем, LED и т. д. Имеет ручной тип загрузки пластин и автоматический режим ведения процесса. Система может быть оснащена шарикоподшипниковым (SGM12) или аэростатическим (SGA12) шпинделем в зависимости от конфигурации.

Особенности

Загрузка пластин по одной
Работа с пластинами до Ø300 мм
Удобный интерфейс управления
Оснащение системой контроля параметров пластин

Номер модели		SGM12	SGA12
Диаметр пластин		До Ø300 мм
Шпиндель обрабатывающей головы	Тип шпинделя	Высокочастотный шпиндель с шариковым подшипником	Высокочастотный аэростатический шпиндель
	Количество шпинделей	1	1
	Мощность шпинделя	7 кВт	12 кВт
	Скорость вращения	0-4000 об/мин	0-4000 об/мин
	Мин. шаг движения по оси Z	0,1 мкм	0,1 мкм
	Разрешение энкодера по оси Z	0,1 мкм	0,1 мкм
Прибор измерения толщины	Диапазон измерения	0-1200 мкм	0-1200 мкм
	Разрешение	0,1 мкм	0,1 мкм
	Воспроизводимость измерений	±0,5 мкм	±0,5 мкм
Стол утонения	Тип шпинделя	Шарикоподшипниковый шпиндель	Аэростатический шпиндель
	Тип стола	Керамический, ø360 мм	Из пористой керамики
	Зажим пластин	Вакуумный	Вакуумный
	Скорость вращения	0-400 об/мин	0-400 об/мин
	Количество	1	1
Габариты (Ш х Г х В)		2026×800×1915 мм
Масса		2500 кг

Полуавтоматическая установка утонения пластин SGM12 / SGA12

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование