Автоматическая установка для групповой жидкостной химической обработки пластин AWB-200

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Автоматическая установка для групповой жидкостной химической обработки пластин AWB-200

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

AWB-200 — полностью автоматическая система для групповой жидкостной обработки, разработанная для серийного производства. Идеально подходит для интеграции в производственные линии, где необходимы высокая производительность и максимальная надежность. Широко применяется в таких высокотехнологичных отраслях, как полупроводниковая промышленность, производство МЭМС и микроструктур, обеспечивая стабильное качество и эффективность процессов.

Особенности

Эффективные системы рециркуляции и фильтрации химических реагентов
Мониторинг и видеозапись процесса
Простота обслуживания
Возможность автоматического смешивания, нагрева и подачи химических реагентов
Различные процессы травления, включая оксидное, нитриды, поликристаллы, металлы и силициды

Поддержка пластин размером до 200 мм
Обработка пластин толщиной от 40 до 200 мкм
Обработка партиями по 25 пластин на ванну
Различные профили кассет (высокие или низкие)
Материал корпуса: ПВХ / ППВ
Материал ванн: кварц / ПВДФ

Автоматическая установка для групповой жидкостной химической обработки пластин AWB-200

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование