Фильтр
Системы серии CABL-9000C — дальнейшее развитие в серии CABL с улучшенными работоспособностью и функциональностью. Серия CABL-C характеризуется продуманной колонной, разработанной специально для электронного пучка малого диаметра/тока большой силы. Также эта серия имеет ряд удобных для пользователя функций: модуль захвата пикселей размером 1024×1024 для изображений с высоким разрешением, общая система управления файлами для управления колонной и другие.
CABL-UH — система электронно-лучевой литографии. Отличительная особенность данной системы — это меньшее прямое рассеивание сопротивления пучка электронов в связи с высоким ускоряющим напряжением. Модель CABL-UH имеет большую точность — менее 10 нм. На выбор доступны модели с максимальным напряжением 90 кВ, 110 кВ и 130 кВ.