ПОИСК ПО САЙТУ
О компании
Демозал
Карьера
Политика конфиденциальности
Сертификаты
Пресс-центр
Каталог оборудования
Решения «под ключ»
МЭМС
ГИС
Биочипы
Фотоника
Радиоэлектроника
Силовая электроника
СВЧ
Фильтр
Системы доставки, слива, смешивания химических реагентов CUS
Автоматизированная система CUS (Central Unit Supply) — высокоинтегрированный комплекс дозирования, смешивания и централизованной подачи технологических жидкостей. Обеспечивает бесперебойную транспортировку особо чистых химических реагентов (кислот, щелочей и т. д.) из точек хранения (бочки, IBC-контейнеры, мини-танки) непосредственно к точкам потребления на пластинах — в реакторы травления, установки химической механической планаризации (CMP) или установки мокрой очистки.
Характеристики