VTFS-2- LPCVD — вертикальная трубная печь, оснащенная роботом для загрузки пластин из кассет. Позволяет проводить широкий круг процессов осаждения из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD). Разработана для крупносерийного производства.
VTFX-2-LPCVD — вертикальная трубная печь, оснащенная роботом для загрузки пластин из кассет. Позволяет проводить широкий круг процессов осаждения из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD). Обладает повышенной производительностью. Разработана для крупносерийного производства.