SM-200 — автоматическая система для обработки резистов, предназначенная для формирования структур с использованием технологии взрывной литографии (lift-off). Подходит для средних и крупных производственных серий. Модульная конструкция позволяет сконфигурировать до шести рабочих модулей.
TR639 — автоматическая установка обработки резистов кластерного типа для формирования структур методом взрывной литографии (lift-off) в условиях среднесерийного и крупносерийного производства. Модульная конструкция позволяет устанавливать до шести рабочих модулей. Производительность обеспечивает высокоскоростной робот.