Фильтр
АCMP-200 — полностью автоматическая система химико-механической полировки кремниевых пластин с кассетной загрузкой для задач крупносерийного производства. Оснащена встроенными модулями отмывки и сушки пластин после процесса ХМП, что предотвращает засыхание остатков суспензии на поверхности пластины при межоперационном хранении. Управление установкой осуществляется при помощи промышленного компьютера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение позволяет выполнять гибкую настройку технологических рецептов.
SCMP-200 — установка химико-механической полировки пластин для полировки диэлектрических слоёв, оксидов, металлов, STI, SOI, MEMS. Пневматическая мембрана обеспечивает фиксацию пластины, полировальная головка реализует вращательные и осцилляционные движения.
