Фильтр
SGM12 / SGA12 — серия установок утонения пластин из карбида кремния, сапфира, кремния, германия, арсенида галлия, кварцевого стекла, различных керамик и других твердых и хрупких полупроводниковых материалов для малосерийных производств и исследований в областях микросхем, LED и т. д. Имеет ручной тип загрузки пластин и автоматический режим ведения процесса. Система может быть оснащена шарикоподшипниковым (SGM12) или аэростатическим (SGA12) шпинделем в зависимости от конфигурации.
DGA12-3 — автоматическая установка утонения пластин из карбида, сапфира, кремния, германия, арсенида галлия, кварцевого стекла, различных керамик и других твердых и хрупких полупроводниковых материалов для их применения в серийных производствах микросхем, LED и т. д. Оснащена двумя утоняющими головами с аэростатическими шпинделями и тремя столами обработки. Позволяет полностью автоматическую работу с пластинами в открытых кассетах диаметром до 300 мм.
GS-SA200/300 — установка высокоточного утонения пластин с одним шпинделем для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 8 (GS-SA200) и 12 дюймов (GS-SA300) и заготовок из материалов по особым спецификациям. В дополнение к ручной загрузке, простым операциям и множеству функций, оснащена автоматической системой измерения толщины и центрирования пластины для повышения точности шлифования. Шлифовальная голова может быть настроена в соответствии с требованиями заказчика, что позволяет достигать превосходных результатов в широком спектре применений.
GD-SA200/300 — установка высокоточного утонения пластин с двумя шпинделями для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 8 (GD-SA200) и 12 дюймов (GD-SA300) и заготовок из материалов по особым спецификациям, выполняя как их грубую, так и тонкую шлифовку. В дополнение к ручной загрузке, простым операциям и множеству функций, оснащена автоматической системой измерения толщины и центрирования пластины для повышения точности шлифования. Шлифовальные головы могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика, что позволяет достигать превосходных результатов в широком спектре применений.
GD-AT200N/M – установка высокоточного утонения пластин с двумя шпинделями и тремя станциями обработки для работы с пластинами диаметром Ø150 и Ø200 мм. Оснащена манипулятором для загрузки и выгрузки, а также функциями автоматического центрирования пластин, позиционирования шлифовальной головы, очистки и сушки пластин. Может выполнять сушку в автоматическом режиме и гарантировать ее высокое качество. Функции автоматического измерения толщины и многоступенчатого утонения позволяют достичь высокой точности обработки вкупе с высокой производительностью благодаря трём рабочим столам.
GT-AQ200M — установка высокоточного утонения пластин с тремя шпинделями и четырьмя станциями обработки для работы с пластинами диаметром Ø150 и Ø200 мм. Оснащена манипулятором для загрузки и выгрузки, а также функциями автоматического центрирования пластин, позиционирования шлифовальной головы, очистки и сушки пластин. Может выполнять сушку в автоматическом режиме и гарантировать ее высокое качество. Функции автоматического измерения толщины и многоступенчатого утонения позволяют достичь высокой точности обработки вкупе с высокой производительностью благодаря четырём рабочим столам.
GP-AA300 — автоматическая система утонения и полировки пластин диаметром Ø200-300 мм, оснащенная шпинделями обрабатывающих голов и вращающегося стола-держателя с аэростатическим подшипником. В системе реализованы функции компенсации клина пластин, автоматического измерения толщины и загрузка/выгрузка пластин в контейнерах при помощи робота-манипулятора.
GDA-EMC — двухшпиндельная установка с двумя рабочими столами для обработки полимерных материалов алмазными шлифовальными кругами. Оснащена функциями автоматического измерения толщины и многоступенчатого шлифования, а также полностью автоматизированной загрузкой/выгрузкой и сушкой.