Фильтр
BA-SA — полуавтоматическая система для оптического совмещения пластин размерами Ø100/Ø150/Ø200 мм перед бондингом. Оснащена системой компенсации клина и автоматизированной интегрированной ОС.
BB-SA — полуавтоматическая установка для бондинга пластин с поддержкой широкого набора методик бондинга.
BC-SA — полуавтоматическая машина для отмывки пластин перед бондингом/после дебондинга. Оснащена набором жидких реагентов и парожидкостных смесей, центрирующим устройством и химическим шкафом.
BS-SA — система для процессов предварительной плазменной обработки перед бондингом поверхности пластин размером Ø100/Ø150/Ø200 мм. Оснащена как высокочастотными, так и низкочастотными РЧ-модулями контроля плазмы.
BSC-A — полностью автоматизированная система для предварительной обработки пластин размером Ø200/300 мм и пластин с рамками размером до Ø12 дюймов. Включает блоки отмывки пластин и активации поверхности.
BBJ-A — полностью автоматическая система для молекулярного/гибридного бондинга. Включает блок отмывки, блок активации поверхности пластин, систему совмещения, блок временного бондинга, центрирующее устройство, блок термического дебондинга пластин сдвигом и т.д. Подходит для процессов молекулярного/гибридного бондинга Ø200/Ø300 мм пластин.
BTB-A — полностью автоматизированная установка временного бондинга пластин. Подходит для пластин размером до Ø300 мм.
EVG®501 является универсальным оборудованием для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ. Может обрабатывать как небольшие подложки, так и пластины размером до 200 мм.
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520®IS обеспечивает полностью автоматическую сварку пластин с ручной загрузкой и выгрузкой. Система проста в управлении и обеспечивает высокую производительность. В нее входит встроенная станция охлаждение и хранилище для держателей и сваренных пластин.
EVG®510 является универсальным оборудованием для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ. Может обрабатывать как небольшие подложки, так и пластины размером до 200 мм.
Автоматическая система сварки EVG®540 с одной сварочной камерой предназначена для серийного и крупносерийного производства, но также может применяться для научно-исследовательских задач в области сварки пластин и МЭМС-применений.
EVG®560 — полностью автоматическая, многокамерная система сварки пластин, предназначенная для всех процессов сварки. Конфигурация до четырех сварочных камер может быть реализована в одной системе. EVG®560 содержит встроенную станцию охлаждения и устройство управления каждой камерой. Полностью совместима со всеми полуавтоматическими системами сварки.